该设计最大的特点在通过高转速的伺服电机与减速机的配合,实现平台既能满足高速毫米运动,也能实现低速微米运动。
技术参数:
l X轴行程100mm;
l 升降轴重复定位精度:
l 升降轴绝对定位精度:
l 最大速度:1mm /s;最低速度:1μm/s
l 最大中心负载:20kg
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